Научно-технологическое направление  
Меню сайта  

Полупроводниковые материалы

Под руководством действ. члена РАЕН М.Г. Мильвидского изучены основные закономерности микродефектообразования в бездислокационных монокристаллах кремния диаметром 100-125 мм, выращенных методом Чохральского. Разработаны научные основы технологии формирования "внутреннего" геттера в пластинах кремния, изготавливаемых из таких монокристаллов. Разработаны научные основы технологии формирования многослойных кремниевых структур типа n-n+ , p-p+ и n-n+-p+ для высоковольтных диодов и мощных переключающих силовых МДП-транзисторов и КНИ-структур для интегральных схем с использованием процесса термокомпрессионного соединения кремниевых пластин. Изучены особенности тепломассопереноса в расплавах, а также особенности кристаллизации при выращивании монокристаллов полупроводников в условиях пониженной гравитации. Разработаны эффективные методы контролируемого воздействия на эти процессы в условиях космического полета.

Под руководством члена-корр. РАЕН А.Г. Яковенко выполнен комплекс работ по созданию элементной базы для сенсорных устройств широкого гназначения на основе тонкопленочных структур полупроводниковых оксидов и ряда органических материалов. На основе такого рода структур разработаны приборы для определения микровлажности, влажности, степени загрязнения окружающей среды органическими загрязнителями, концентрации озона и сероводорода в промышленных и жилых зонах, превосходящие по ряду принципиальных параметров ( газочувствительность, быстродействие, продолжительность работы в автономном режиме, стабильность) соответствующие зарубежные аналоги.

Под руководством члена-корр. РАЕН В.Б. Освенского разработана технология получения термоэлектрических материалов: для холодильной техники - на основе твердых растворов Bi2Te3-xSex и твердых растворов Bi2-xSbxTe3; для термогенераторов электрической энергии - на основе Bi2Te3. Достигнута термоэлектрическая добротность Z=(2,8-3,2)*10-3 K-1, что находится на уровне лучших мировых достижений. Разработаны 32 типа термоэлектрических охлаждающих модулей, различающихся типоразмерами, холодопроизводительностью и температурой охлаждения, в том числе, однокаскадные, двухкаскадные, трехкаскадные.